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本论文围绕太阳能电池的电性能参数展开,主要研究发射极优化对太阳能电池电性能的影响。结合目前太阳能电池的产业化发展,研究扩散发射极的优化、NAOS法去死层发射极表面的二次清洗和优化,通过I-V特征曲线、方块电阻、少子寿命、电致发光EL、内量子效率IQE的测试对太阳能电池的电性能、发射极性能、光谱响应进行表征和分析,并就发射极优化的机理及其对太阳能电池电性能参数的影响作了阐述。利用PC1D软件,仿真了太阳能电池的性能与发射极掺杂浓度、结深、前表面复合速率、方块电阻、少子寿命的之间关系,探寻电性能的改善方向。通过中心温度、趋入时间、通源量的实验,分析了影响发射极方块电阻的因素,并通过双面扩散、对比不同发射极方块电阻、改善常规扩散工艺来优化发射极。IQE测试表明,双面扩散能改善太阳能电池长波段的光谱响应,提高短路电流;EL和I-V电性能测试显示,随着发射极方块电阻的提高,太阳能电池的转换效率呈现先升高后降低的趋势,说明存在一个工艺上方块电阻的最优值。而通过低温磷扩散工艺,发射极的均匀性显著提高,较长的趋入时间又能提高扩散吸杂效果,电性能进一步改善。通过NAOS法去死层工艺,对扩散发射极表面进行了进一步优化,达到降低发射极表面磷浓度和二次清洗的作用。I-V电性能测试表明,NAOS法去死层能显著改善太阳能电池的短路电流,提高转换效率;EL测试和IQE测试显示,NAOS法去死层后,太阳能电池短波段的光谱响应有了明显地提高,促进了短路电流的提高。最后,采用优化后的工艺进行了太阳能电池约500片的小规模量产,获得了16.65%的转换效率,并通过电性能数据的统计学分析验证了电性能参数间的相互影响。