【摘 要】
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非晶态铁磁合金薄膜在外加应力作用下,阻抗会发生很大的变化,表现出明显的应力阻抗效应,这种特性可以广泛应用于应力/应变传感器中,因此对非晶态铁磁合金薄膜应力阻抗效应的研究具有实际意义。由于“铁磁/金属/铁磁”三明治多层膜表现出了比单层铁磁薄膜更为明显的应力阻抗效应,为此,本文从理论和实验上对“铁磁/金属/铁磁”三明治结构多层膜的应力阻抗效应进行了系统研究。本文首先建立了“铁磁/金属/铁磁”三明治结构
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非晶态铁磁合金薄膜在外加应力作用下,阻抗会发生很大的变化,表现出明显的应力阻抗效应,这种特性可以广泛应用于应力/应变传感器中,因此对非晶态铁磁合金薄膜应力阻抗效应的研究具有实际意义。由于“铁磁/金属/铁磁”三明治多层膜表现出了比单层铁磁薄膜更为明显的应力阻抗效应,为此,本文从理论和实验上对“铁磁/金属/铁磁”三明治结构多层膜的应力阻抗效应进行了系统研究。本文首先建立了“铁磁/金属/铁磁”三明治结构多层膜应力阻抗效应的物理模型,通过求解Maxwell方程,得到了多层膜阻抗与其结构、铁磁层磁
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