【摘 要】
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作为一种新型湿度传感器,光纤湿度传感器具有结构紧凑、制作简单、灵敏度高、响应速度快、测量范围广、湿滞回差小、重复性好等诸多优点。基于波长检测型和光功率检测型光纤湿
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作为一种新型湿度传感器,光纤湿度传感器具有结构紧凑、制作简单、灵敏度高、响应速度快、测量范围广、湿滞回差小、重复性好等诸多优点。基于波长检测型和光功率检测型光纤湿度传感器的传感原理与研究成果,本文提出一种基于聚乙烯醇-铝薄膜的锥形光纤湿度传感器研究,主要内容包括:首先,介绍光纤湿度传感器的分类以及国内外对于光纤湿度传感器的研究现状;理论分析锥形光纤的光路传输特性,以及光纤倏逝波相关原理,为研究光纤湿度传感器奠定基础。其次,采用化学腐蚀法、二氧化碳激光拉锥法和熔融拉锥法研究制备锥形光纤,并通过电子显微镜成像系统观察其锥形结构参数;理论分析熔融拉锥型单模光纤传感特性,并进行甘油折射率传感实验。再次,研究聚乙烯醇湿敏材料水溶液的制备方法,并对其进行折射率传感实验;分别研究浸涂法和浸渍提拉法制备湿度测量传感器;研究热蒸镀法在湿度测量传感器表面镀覆金属铝薄膜制备温度补偿传感器。最后,提出了一种基于聚乙烯醇-铝薄膜的锥形光纤湿度传感器;实验研究了湿度测量传感器的湿度特性、湿滞特性、重复性、温度特性;实验研究了温度补偿传感器的湿度特性、温度特性、可逆性,并分析传感器的温度补偿功能。
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