本文主要阐述了我们在研究气体靶激光等离子体光源过程中有价值的理论及实验结果,并对实验结果进行了理论分析.第一章在综述了激光等离子体光源的应用价值及其发展历史后,主要讨论了气体靶激光等离子体光源的一个重要问题:激光—软X射线的转换效率.人们普遍认为低密度的气体无法产生高亮度的软X射线,大量的激光会穿过气体而不被吸收,然而实验表明气体,特别是大原子序数的气体,在一定条件下可以有很高的吸收系数及转换效率,使得气体靶激光等离子体光源研究成为可能.第二章讨论了基于喷气靶的气体与激光相互作用的模型.气体由喷气阀在高压下喷入真空靶室,由于绝热膨胀,温度降低,气体会饱和冷凝成颗粒状,于是它的局部密度与固体相当.此物理模型解决的是如何计算喷入真空靶室的气体的状态,在真空靶室中形成的气体原子团簇的大小,原子团簇与激光相互作用的加热机制,原子团簇受热后的膨胀机制,以及形成的等离子体中离子的加热机制.由于气体具有导热慢,热膨胀等特点,使得等离子体中热电子的能量大部分传递给低温离子,所以喷气靶激光等离子体光源中离子的温度很高,离子中电子产生跃迁的几率很大,会有很高的X射线辐射.第三章中介绍了喷气靶激光等离子体光源的实验装置,并介绍了我们对喷气阀及喷气阀电源的改进.通过改进喷气阀的这些参数可以改善喷气阀喷入真空靶室的气体所形成的原子团簇的状态.原子团簇大小的改变会引起软X射线辐射强度的改变.第四章简单介绍了我们的探测系统,其中包括单色仪的结构及工作参数,探测器的原理,探测系统的工作时序,重点介绍了完成数据采集的软件程序的编写.第五章是喷气靶激光等离子体光源实验结果及分析.我们利用O<,2>,CO<,2>,Ar, Kr,Xe作为靶材都在软X射线波段获得了较强的辐射.本论文介绍了获得强辐射的实验条件,包括喷气阀的背景气压,加在喷气阀上的电压,打靶激光功率密度,以及加在探测器上的电压等.在等离子体光源稳定性方面,我们做了充分的讨论并对一些参数作了改进.