微机电产品以其体积小、精度高、重量轻、低能耗等优点,得到人们的热切关注。随着微细加工技术的发展,小型化和微型化产品的应用越来越广泛。微细电解加工是金属工件作为阳极在电解液中发生化学反应被溶解,从而去除材料实现加工成形的过程。与微铣削、微细电火花加工、微细超声波加工、激光加工等微细加工技术相比,微细电解加工具有无电极损耗,加工表面光滑且无残余应力、无毛刺,不受材料硬度、强度的限制等优点,因此在航空、航天、汽车、医学、微制造等领域内得到广泛应用。近年来,微细电解加工技术已经取得了很大的进步,但是仍存在以下问题：一是在电解加工由采用直流电源向脉冲电源发展的过程中,对于采用低压直流进行微细电解加工的研究较少,而低压直流电解加工具有加工效率高、进给反馈控制方便等优点,其中加工参数对加工精度的影响、工具电极的进给控制、加工过程中短路现象以及电解产物的影响等有待深入研究；二是采用纳秒级脉冲电源电解加工微孔的技术已经非常成熟,但是对于采用旋转工具电极铣削加工复杂形状的研究较少,电极转速、脉冲参数、进给速度、电解液流速等对铣削加工间隙的影响以及电极运动轨迹跨度值、走刀路径对工件底面和侧面材料残留高度的影响都需要进行更为系统深入的研究。为了进行以上两种实验研究,本文根据微细电解加工和相关实验设备的特点,利用NI LabVIEW软件编写机床控制程序,该程序可以实现微细工具电极在线制作、对刀探测、微细电解钻孔加工、微细电解三维铣削加工,满足本文实验的加工要求。本文针对微细电解加工现存的问题进行了实验研究,实验结果表明：在低压直流电解微孔加工探索实验中,工具电极旋转能够有效减小微孔的入口加工间隙和锥度,提高加工效率,且微孔的入口加工间隙、锥度和加工短路次数随着工具电极转速的增加而逐渐减小,但工具电极的转速对微孔的出口加工间隙影响不大。工具电极旋转能够起到均化电解产物、净化工具电极、加快电解反应、减小加工间隙的作用；在微细电解铣削加工中,电极转速、加工电压、脉冲宽度、脉冲周期、进给速度对加工间隙具有规律性的影响,而电解液流速对加工间隙基本无影响。随着工具电极运动轨迹跨度值的增加,工件底面材料残留高度越来越明显。为了保证加工质量和加工效率,电极的运动轨迹跨度值应为电极直径的1/2-2/3。通过将0°和90°刀具运动轨迹进行穿插复合,能够有效消除侧壁材料残留高度。最后,将简单的结构进行复合,在200μm×200μm的凹腔中加工出了高精度的双层微结构,测得其最大加工误差仅为3.6μm。