【摘 要】
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该文基于改进的TFD电子理论、Miedema电子理论等计算了薄膜的一些力学性能参数.用悬臂梁法、断裂力学法、剥离法、鼓泡法等实验方法测试了薄膜的力学性能.并将理论计算结果和
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该文基于改进的TFD电子理论、Miedema电子理论等计算了薄膜的一些力学性能参数.用悬臂梁法、断裂力学法、剥离法、鼓泡法等实验方法测试了薄膜的力学性能.并将理论计算结果和实验测量结果以及实验测量结果之间进行了对比研究.具体研究工作有以下几方面: (1)依据改进的TFD电子理论,计算了不锈钢基体上电镀Cu膜,Ag膜、Ni膜和Ti基体上电镀Ni膜内的(平均)残余应力,并给出了不同膜厚下膜内(平均)残余应力的估算式.(2)用Miedema电子理论计算了Ti基体上Ni膜的界面结合能.(3)用电沉积法制备了Cu/Ni金属多层膜(每层膜厚相同),研究了多层膜硬度与单层膜厚度之间的关系.(4)导出了微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)中桥式薄膜结构在Casimir力、静电力和残余应力联合作用下的挠度解析表达式.
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