近年来,随着我国在电子制造相关行业取得一系列重大技术突破,中国已成为世界上最大的液晶显示器生产基地。与此同时在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制造行业中,也暴露出了很多新的职业健康问题,尤其是光刻岗位大量使用的有机物问题。某些有机物的主要成分国家没有规定其职业接触限值,没有相关的职业卫生检测方法,甚至有关毒性研究也比较少。工厂异味四处弥漫,严重影响了员工的身心健康。因此对薄膜晶体管液晶显示器制造行业有害气体扩散研究是很有必要的。本文采用数值模拟法对TFT-LCD制造业光刻岗位有机气体扩散规律、通风系统的通风效果及优化指标展开研究,以国内某著名薄膜液晶显示器制造厂为研究对象,采用Fluent软件建立三维几何模型,对不同排风量、排风口面积等设置条件下的通风效果进行了数值模拟研究,分析了丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)扩散的速度场和浓度场分布规律,研究结果如下:(1)在未设计排风系统时,密闭罩外部z=0m断面(地面)丙二醇甲醚醋酸酯主要聚集在0<x<4.2(密闭罩缝隙的长度)的y轴范围内,且随着与缝隙的距离增大,丙二醇甲醚醋酸酯聚集范围向中心位置靠近;对6个点的检测结果显示,在地面缝隙处的v1点浓度为141.47mg/m~3,v3-v6随着与密闭罩缝隙处的距离增大,浓度降低。(2)在排风量相同的情况下,当排风口宽度为0.4m、0.6m、0.8、1.0m、1.4m、1.6m时,合理的排风口面积,可以提高气流的均匀性,减少涡流,提高通风换气效果。当排风量一定时,在不同大小的排风口面积工况下,PGMEA浓度在密闭罩外沿程变化规律基本相似,都在距离密闭罩缝隙4m的v6点处浓度最高,v4点浓度较低。密闭罩外的v3、v4、v5、v6点在排风口宽为1.0m时,PGMEA浓度降到最低。(3)在排风面积相同的情况下,当排风量为8000m~3/h、1000 m~3/h、12000 m~3/h、14000 m~3/h时,丙二醇甲醚醋酸酯气体的排出速度增加,减少丙二醇甲醚醋酸酯气体的聚集,减小扩散范围。z=1.5m断面上丙二醇甲醚醋酸酯污染面积逐渐减小。密闭罩外的v3、v4、v5、v6点各点浓度逐渐降低。(4)通过对排风系统的各工况下有害气体扩散情况的分析,得出的优化方案为在密闭罩的底部设置1m宽的回字形排风口,排风量为14000m~3/h。在此工况下密闭罩外各点的丙二醇甲醚醋酸酯的浓度已经几乎为零,密闭罩外的扩散面积明显减小。所以此工况可以在满足工艺条件需求情况下将有害气体集中排出,不至于蔓延至整个车间。