【摘 要】
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该文结合国家"863"项目"机构、驱运、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究"及"实用化纳米级微动机器人系统的研究",对适用于纳米级微动机器人系统的便于集成的实用的精密位
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该文结合国家"863"项目"机构、驱运、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究"及"实用化纳米级微动机器人系统的研究",对适用于纳米级微动机器人系统的便于集成的实用的精密位移测量系统进行了研究.通过对近期国内外有关精密位移测量技术,尤其是电容式位移传感器技术的广泛调研,研制了一种新型开关电容式位移测量系统.其测量电路基于开关电容技术,具有线性测量、精度高、抗干扰能力强、结构简单实用、成本低等特点,文中对开关电容电路中存在的杂散电容、电荷注入效应、电路参数变化等非理想因素进行了分析,并给出一些抑制、消除或补偿其影响的方法.该文给出了在硬件及软件上实现开关电容式位移测量系统的过程,对测量电路中的开关电容张弛振荡器、精密对称电流源、产生控制信号的逻辑电路进行了具体的介绍.最后,进行了检测系统的标定实验及微动机器人闭环控制系统的静态实验研究,定位精度达到±0.1%,为进一步提高系统定位精度的研究奠定了基础.
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