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本课题采用直流反应磁控溅射的方法，在镀有透明导电薄膜ITO的玻璃衬底上制备了ZnO荧光薄膜，改变了以往研究者在硅衬底或蓝宝石衬底上制备ZnO薄膜的方法，因此制备的样品可以直接作为阳极荧光屏用于场发射平板显示器。实验采用提高衬底温度、改变反应气氛中的氧氩比，以及退火处理的方法优化荧光层的性能。通过XRD、SEM、四点探针对样品的结构、形貌、导电特性进行了测试，利用荧光光谱仪、亮度计对样品的光致发光和阴极射线发光特性进行了分析。研究了ZnO薄膜的结晶状况、成分、点缺陷浓度等因素与其发光特性之间的关系。实