【摘 要】
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该文对微细加工技术中的准分子激光投影成像法进行了系统的探讨,并对该方法中的核心部分投影成像系统作了深入的研究,文中设计出的投影成像系统经实际的微细加工验证,至少可
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该文对微细加工技术中的准分子激光投影成像法进行了系统的探讨,并对该方法中的核心部分投影成像系统作了深入的研究,文中设计出的投影成像系统经实际的微细加工验证,至少可达到2μm的分辨率.该文首先介绍了准分子激光在微细加工技术中的应用与前景,通过分析准分子激光与材料相互作用的特性,指出准分子激光投影成像法用于微细加工技术中的优势.文中讨论了准分子激光光谱线宽和光束质量均匀性对投影成像微细加工精度的影响,并给出了相应的解决办法.通过对投影成像系统的深入研究与分析,根据实际微细加工的需要,该文设计了一预期分辨率在2μm的投影成像系统,并进行了实际的加工.经检测测试后,该投影成像系统在准分子激光微细加工实验中达到了预期的设计目标,可以用于实际的准分子激光微细加工系统中.
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