【摘 要】
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针对目前太阳能电池的光电转换效率低下,对入射光不能进行有效的吸收,本文采用了激光干涉的方法在单晶硅表面进行刻蚀制造微结构,来达到减少入射光的损失,增加光的吸收。本文
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针对目前太阳能电池的光电转换效率低下,对入射光不能进行有效的吸收,本文采用了激光干涉的方法在单晶硅表面进行刻蚀制造微结构,来达到减少入射光的损失,增加光的吸收。本文使用的是四光束激光干涉,通过四束激光在特定区域干涉,干涉区域内的场强重新分布,形成周期性的光强分布。在单晶硅片上刻蚀出周期性的微结构,并用微腔理论对其减反射进行分析。制备出的微结构周期为14.2μm,和未制备微结构的硅片相比,反射率有大幅的降低,在400nm附近反射率达到最低为3.1%。和太阳能电池相比,在300nm-570nm和1030nm~1100nm波段,经过刻蚀的硅片减反射效果优于太阳能电池。该方法可以用于制备太阳能电池的绒面结构。
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