Cu2O薄膜原子层沉积生长及物性研究

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【摘要】

：

本论文从目前光电探测器件中受到广泛关注的Cu_2O薄膜材料入手,针对Cu_2O材料采用传统制备技术,容易在制备过程中产生Cu O相杂质,结晶质量较差,空穴浓度较低,难以满足光电探测器的高响应度等问题,本文研究了制备Cu_2O的新型方法-原子层沉积法,并且研究了该方法制备的Cu_2O薄膜的晶体质量、表面粗糙度、光学及电学等各方面的性质。并在此基础上实现了对Cu_2O薄膜的N掺杂处理,对掺杂前后Cu_

【作者】

：

潘景薪

【机构】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2016年12期

【关键词】

：

Cu2O薄膜原子层沉积技术 N掺杂光电性质

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