微型结构动态特性参数测试方法的研究

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该文在参考大量文献资料的基础上,对微型结构动态特性测试的实验技术,包括激励技术、动态信号检测技术、模态分析与参数识别技术,进行了比较全面的介绍.其中着重介绍了围绕国家自然科学基金资助项目所设计的自反馈光纤式麦克尔逊干涉仪和小型激励装置,及其在微型触觉传感器动态特性参数测量中的应用,并对微型触觉传感器进行了理论分析和有限元计算.
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