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近几年来,有机-无机混合钙钛矿太阳能电池由于具有高效率和价格低廉等优点,发展迅速,全固态钙钛矿薄膜太阳能电池效率迅速地增长到20%以上,具有广泛的应用前景。卤化铅钙钛矿是一种直接带隙材料,并在整个可见光波段中展现出了强吸光能力,其光学吸收系数高于104 cm-1。钙钛矿材料是双极性的,可以同时传输电子和空穴,且电子和空穴具有非常大的传输距离,一般可以达到100 nm以上,甚至可以超过1微米,这就使得器件中的钙钛矿薄膜可以制备得很厚来充分吸收太阳光能量。薄膜钙钛矿电池光电转换效率主要由钙钛矿薄膜、空穴传输层以及电子传输层的性质决定。其中,钙钛矿薄膜的形貌和结晶性能够直接影响载流子的传输与复合,对电池光电转化效率有很大影响,所以钙钛矿薄膜的制作工艺在钙钛矿太阳能电池的制备中至关重要。钙钛矿薄膜的制备灵活多样,目前钙钛矿薄膜制备方法大体上可以分为一步法、两步法等。一步法主要有一步溶液旋涂法、双源共蒸发法等;两步法则主要有浸泡法、两步旋涂法、蒸汽辅助沉积法等。尽管溶液旋涂法制备钙钛矿薄膜简单快速,但溶液旋涂制备的钙钛矿薄膜往往表现出薄膜覆盖率不高,形貌差异较大,从而导致钙钛矿太阳能电池的制备重复性较低。采用双源共蒸法制备的钙钛矿薄膜具有很多优点,如薄膜杂质缺陷少、结构致密且表面均一性好,但是它需要高真空环境,对设备要求很高,消耗能量巨大。与溶液旋涂法和双源共蒸法相比,蒸汽辅助沉积法制得的钙钛矿薄膜具有完全的表面覆盖率、低的表面粗糙度和较大尺寸的晶粒,制膜质量优于传统溶液法,且整个制备过程对真空度无要求,也比共蒸法经济环保,因此这一方法兼具了前两种方法的优点。然而目前这种方法制备的钙钛矿太阳能电池的转换效率远低于溶液旋涂法和双源共蒸法制备的器件效率,有必要进一步优化薄膜工艺,大幅提升器件效率。本文进一步改进了蒸汽辅助沉积法制备钙钛矿薄膜的制备方法,优化了实验流程与制备工艺。通过调控钙钛矿薄膜生长时钙钛矿前驱体碘化铅薄膜衬底的温度,更为可控地优化钙钛矿薄膜生长条件。采用同步辐射掠入射X射线衍射(Grazing Incidence X-ray Diffraction,GIXRD)结合扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)、紫外可见吸收谱(UV-Visible Absorption Spectroscopy)等表征方法证明钙钛矿前驱体碘化铅薄膜衬底温度对制备的钙钛矿薄膜质量具有重要的作用:较低的碘化铅薄膜衬底温度有助于钙钛矿晶粒的形成,其结晶性、晶面择优生长取向均较好,同时具有较高的光吸收性能;当碘化铅薄膜衬底温度升高时,所制备的钙钛矿薄膜结晶性变弱,晶体择优生长取向明显变差,光吸收性能随之下降。