离轴非球面镜中高频误差的检测方法研究

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天文望远镜技术一直代表着当世科学技术发展的最高水平,大口径光学非球面是其中的关键技术之一。按照现阶段发展趋势,十米及以上级天文望远镜镜面主要采用子镜拼接技术,其子镜为离轴非球面,由于离轴子镜非球面度较大,加工较难,人们对镜面的中高频误差提出了严格要求,如果用传统的检测方法进行全孔径面形检测,则需要借助复杂的检测光路。因此本文提出了一种基于子孔径拼接的离轴非球面中高频误差的检测方法,获取子孔径面型信息,通过分析Zernike多项式各系数对应的误差关系,去掉泽尼克多项式的前15项,再进行子孔径拼接,即可得到被测镜全口径内的中高频误差。  本文用此方法对口径330mm六边形离轴非球面镜进行了检测,得到了完整面型的中高频面形误差,通过与全口径测量结果的对比,验证了该方法的可行性。  本方法检测装置紧凑,检测光路简单,检测周期短,花费少,重复性高,易于操作,方法可靠,十分适用于大型天文望远镜离轴非球面子镜的中高频误差检测。
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