介质阻挡放电法是工业应用最广泛的人工产生臭氧的方法，但是臭氧发生器的整体效率仍然有待进一步提高。第一个提高效率的方法是提高供电频率。本文研究了7～8 kHz高频正弦交流电压驱动条件下，原料气体、发生器结构、工作条件等对臭氧生成情况的影响。主要包括以下几方面的内容：1．研究了原料气体不同时，电源电压、气体流量、原料气体性质对臭氧产生的影响进行。结果表明，空气源时臭氧浓度随气体流量的增大先升高后降低，而氧气源时臭氧浓度不断下降；臭氧的产量随气体流量的增大而增加；随氧气相对湿度的增大，臭氧的浓度减小。2．对气隙宽度对臭氧产生的影响进行了研究。结果表明，不同气隙宽度时，臭氧浓度、产生效率都是随电源电压、输入功率的增大从零增加到某一最高值然后逐渐减小；输入功率相同时，臭氧浓度、效率都随气隙宽度的减小而增大；随气隙宽度的增加，产生臭氧的起始峰值电压增大，产生相同浓度的臭氧所需的电压增大，达到最高浓度需要的电压增大；臭氧浓度和效率不能在相同的电源输入功率达到最高值。3．对不同Ar／O₂时臭氧的产生情况进行了研究。结果表明，在氧气中添加氩气时，臭氧的生成情况与纯氧气时不同。混合气体流量为300L／h时，当Ar与O₂的流量比从Ar／O₂=200／100到Ar／O₂=240／60变化时，臭氧产生效率分别随电源电压、输入功率的升高而不断降低，并且在Ar／O₂=200／100的低峰值电压、低输入功率时达到最高效率；随Ar／O₂的减小，产生臭氧的起始峰值电压增大，臭氧的最高浓度增大。4．在实验基础上，用有限元法对反应器的电场进行了模拟，模拟结果表明，随着气隙宽度的减小，放电气隙中的电场增强，结合2中的结果可以说明强电场有利于臭氧的产生。