大尺寸全息光栅曝光系统及条纹锁定系统

来源 :中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangtianmei01
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
大尺寸全息衍射光栅在高功率啁啾脉冲放大系统、大口径天文望远镜等系统中具有重要应用。全息光栅曝光的基本原理为两大口径平面波在光栅基板区域干涉并被光刻胶记录。曝光时外界环境的干扰会影响条纹相位造成光栅对比度下降,因而需要引入条纹锁定系统,保证干涉条纹相位的稳定。  制造大尺寸全息光栅方法有:拼接法、静态干涉场曝光和扫描干涉场曝光。对三种方案的优缺点及难点进行了比较。介绍了大尺寸全息光栅曝光系统的结构和原理。分析了条纹相位变化对光栅对比度的影响。通过针孔滤波获得高质量点光源。对影响曝光质量的一些因素,如:激光器的稳定性、基板放置角度、光束夹角变化等进行了分析。  温度变化、空气流动、振动等外界干扰会影响曝光干涉条纹相位。构建了由三组条纹监视系统、计算控制系统和两组压电位移台组成的曝光条纹锁定系统,实现了条纹平移和周期的同时锁定。介绍了通过参考光栅检测条纹状态变化的原理。条纹平移量通过互相关计算。使用两组监视系统实现条纹周期变化的检测。介绍了控制程序的主要流程及各部分的功能。  通过搭建的条纹监视系统检测环境对曝光条纹的影响。未采用条纹锁定系统时:3小时内条纹平移均方根值为1.87λ,周期变化的均方根值为1.2λ,难以满足光栅制作要求。采用锁定系统后光栅槽型和对比度明显优于未锁定时的情形。锁定的精度为:平移变化的3σ值为0.009λ,周期变化均方根值为0.017λ,实现了较好的锁定效果。光栅实样的衍射效率为98.1%。设计实验并分析平移锁定和周期锁定间的干扰对锁定精度的影响。采用条纹锁定系统可极大降低光栅曝光对环境稳定性的要求。
其他文献
随着半导体激光器的不断发展与进步,大功率半导体激光器在工业加工、信息处理及国防尖端技术领域中的应用越来越向高层次和高精密方向发展。其中,准连续半导体激光叠阵具有结构
该文详细地介绍了当前IRST系统的发展和分类,剖析了目前研制的IRST系统的组成和功能;阐述了多目标跟踪问题的由来和发展,简述了这一问题的多种分类方法和实现原理,分析了该文
学位
三维激光扫描逆向建模技术以其高效、精准、成本低等优势广泛应用于建筑施工各领域.但是三维激光扫描属测量领域,而建筑信息模型设计属建筑领域,如何跨界,将两类信息技术无缝
学位
美国新墨西哥大学研究员帕塔克,日前在美国癌症研究协会发表最新研究结果,公布十大抗癌食物。●卷心菜:可减少患消化系统癌症的机率。●西兰花:含有菜服子硫,帮助消灭致癌物
目前国内外测量核燃料芯块密度的方法很多,但都存在不同的局限,不能适应现代化大规模生产的在线检测的需要.针对这种情况,该文提出了一种基于图象传感技术和光学成像技术,结
《铁路“十一五”规划》明确指出:“十一五”期间,铁路部门将增建Ⅱ线8000km,既有线电气化改造15000km,既有线改建项目将会逐年递增。可见,既有线改建设计将成为未来几年国内
该文是黑白底片三色光栅编码彩色摄影技术的进一步发展和延伸.该彩色摄影技术的 数字化解码方法是一种数字化白光信息处理过程.该文的前一部分在总结数字解码方法的基础上,进
随着光学系统应用日益广泛,对于光学元件的需求也逐渐增加。为满足光学元件大批量、低成本生产要求,光学制造业必须寻求高效率、高精度、经济实用的加工手段。经过多年的发展,光