激光微加工是精密、超精密加工不容忽视的一部分，目前广泛应用于众多的高端激光微加工领域，如半导体工业、LED加工、太阳能电池、触摸屏制造、医疗器械、玻璃、陶瓷加工以及其它各种特殊加工领域。本文是根据超磁致伸缩材料的特点，结合国内外对其研究，在以往GMA的基础上，克服他们的不足，通过综合优化设计、性能分析、控制研究等各方面的完善，设计出一种尺寸小、能量密度高、响应速度快适应于激光微加工及精密、超精密加工领域的微加工驱动器。首先，阐述了激光微加工驱动器在国内外的研究现状及应用前景。介绍GMM材料的发展历程、物理特性、性能优势以及国内外对其的研究与应用。其次，介绍驱动器整体结构的设计及工作原理：主要包括磁路及线圈的设计，冷却系统的优化设计和弹簧板的设计，并通过实验加ANSYS分析优化；仿真分析预压力、滞回现象、温度等对驱动器性能的影响，以使满足驱动器的性能要求。然后，基于电流模型建立了恒流源在内的激光微加工驱动器线性化动态模型，针对驱动器系统的大时滞特点，分别设计了包括Smith补偿机构的PID控制器和模糊PID控制器，并通过Matlab进行仿真分析与效果比较。结果表明，带有Smith预估器的模糊PID控制器能够较好的满足激光微加工驱动器系统快速响应的要求。最后，在沈阳贝特数控机械有限公司,在中科院沈阳计算机研究所的帮助下进行实验验证，最终表明驱动器控制精度达到±1.5um，误差为0.5um，满足加工要求。