高温压力传感器是指在高于125℃环境下能正常工作的压力传感器。在众多压力传感器中，高温压力传感器因其特殊的高温应用环境而日益受到人们的重视，典型应用于石油，化工，冶金，航空航天等领域。 论文介绍了多种高温压力传感器的现状，对它们的基本结构、工作原理、特点进行了论述。系统论述和研究了高温压力传感器的原理和设计。本文主要研究的是通过确定了金属力敏电阻条的位置和排列方式，对此传感器芯片的膜片尺寸、电阻条和版图进行了设计，制作高温压力传感器的芯片。 本课题研究的高温压力传感器，它以铜片为弹性膜片，电绝缘材料为AlN,敏感层为铜或者金属钛力敏电阻条，力敏电阻受压力而产生形变时的电阻也随之变化，根据这一原理制备高温压力传感器。首先制备AlN绝缘层，然后制备金属力敏电阻条，然后用耐高温焊锡将芯片与金属基座焊接封装在一起，制成耐高温压力传感器,最后装入油压测试系统进行测试。这种压力传感器制作工艺与传统的一些半导体器件制作工艺相似，易于实现集成化，所以这是一种性能比较理想的高温压力传感器。