微梁/微板是微机电系统(MEMS)的核心部件之一,多用于制作传感器、致动器和共振器等。一般MEMS器件的几何尺寸处于微米或亚微米级,在金属材料、复合材料、聚合物材料以及硅类材料的小尺度实验中已经证实:在微米及亚微米量级,微构件力学性能具有明显的尺寸效应,而这种尺寸效应现象是经典连续介质力学无法解释的。因此,发展和完善能够解释和描述微结构尺寸效应现象的理论和模型就显得至关重要。众多学者对微结构的力学行为做出了研究,对于弹性材料微结构的研究较为充分,主要从实验方法、数值模拟、及微尺度理论等方法对微结构的力学特性进行了研究。但是,众多研究结果表明,一些用于制造微结构的材料的力学性能表现出很强的时间相关性,即黏弹性。此外,以传感器等为代表的部分MEMS器件工作时多处于流场/电场等复杂的耦合场环境下。本文选取微尺度理论的方法对微结构进行分析。以微梁/微板为研究对象,通过黏弹性连续介质理论、修正的偶应力理论、欧拉-伯努利梁理论和基尔霍夫板理论对考虑了压膜阻尼和静电驱动的黏弹性微梁/微板的静动力学方程进行了讨论,特别对其吸合现象进行了着重分析。具体研究内容如下:首先,将流-固耦合模型中流场对微梁结构的作用简化为压膜阻尼力。基于黏弹性力学理论、欧拉-伯努利梁理论和修正的偶应力理论,导出了考虑压膜阻尼时微梁的动力学控制方程,并采用伽辽金法及龙格库塔法对方程进了行数值求解。通过退化并与已有结果进行对比的方式验证了控制方程及求解方法的可靠性。分析了在直流电压作用下静力坍塌现象,其中吸合现象中尤为重要的是吸合电压及吸合时间,在本文中讨论了压膜阻尼力对吸合时间的影响。并且基于模型精确度的考量,分别分析了边缘场效应及考虑大变形时和小变形假设对微梁结构吸合时间及吸合电压的影响。计算结果表明,结构自身材料的黏性阻尼力及外在压膜阻尼力的共同影响会明显增大微梁结构吸合时间,而对结构吸合电压的影响不大;边缘场效应对微梁结构的吸合时间及吸合电压有显著影响;小变形假设会低估微梁结构等效刚度,进而导致吸合电压及吸合时间的减小;讨论了损伤效应对结构吸合时间及吸合电压的影响。其次,基于黏弹性力学理论、基尔霍夫板理论以及修正的偶应力理论,哈密尔顿原理推导出了黏弹性微板的动力学控制方程。采用伽辽金法及龙格库塔法对方程进行了数值求解。通过与已有考虑尺度效应下弹性板的静动力学响应结果比较,验证了所建立模型的可靠性。研究中着重分析了在直流电压作用下黏弹性微板的静力坍塌现象,讨论了板长宽比对吸合时间及吸合电压的影响,同时研究了不同特征长度下微板的吸合时间与外加电压间的关系;研究了小变形假设对结构刚度的影响;讨论了边缘场效应对微板结构的影响,发现与微梁结构相比边缘场效应对微板结构影响较小;分析了损伤因子对结构吸合特性的影响。