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本研究在实验室规模上采用高温破坏分解方法，针对全氟烃气体中比例较高且较难分解的CF4气体，利用其在高温下与H2O发生反应这一机理进行高温环境下的分解实验。通过改变反应中的H2O浓度、CF4浓度、反应温度，停留时间等重要参数，探索CF4的分解规律，从而为将来实现生产过程的控制提供参考。
本研究中高温分解环境是利用高温空气燃烧技术建立的蓄热式燃烧分解炉。该实验装置可将空气预热至900℃，排烟温度降至150℃以下，余热回收效率高于70﹪，燃烧室温度分布均匀，燃烧充分，NOx排放低于300mg/m3。