高气压条件下射频及直流激励的等离子体源特性研究

来源 :中国科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：L_grey

【摘要】

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【作者】

：

杨宽

【出处】

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中国科学技术大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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高气压等离子体放电 E-H模式

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