随着微机械的不断发展,对各种微细加工技术的要求也不断提高。微细电火花加工凭借一系列优点在精密制造工业领域得到广泛运用,受到了国内外工业界以及学术界的重视与关注。作为微细电火花加工机床的重要组成部分,脉冲电源的性能对电火花加工的质量和效率起到至关重要的作用,所以对相关技术进行研究,设计出良好性能的脉冲电源对电火花加工具有重要意义。本文查阅了大量文献,对电火花成形加工的脉冲电源原理进行分析研究,根据要求设计了脉冲电源主电路、放电状态检测电路和控制系统。在分析了RC式脉冲电源和晶体管式脉冲电源的放电特点与极间击穿特性的基础上,采用了可控式RC脉冲电源做放电回路结构,它综合了放电脉冲可控和放电能量微细等特点,参数调节方便,容易实现自动化控制。电路采用高速MOSFET做主控开关元件,对晶体管结构及开通特性进行分析,研究晶体管快速驱动技术,按MOSFET参数要求设计出符合要求的快速驱动电路,并利用小电阻限流,得到高频窄脉宽,可实现微细能量的电火花加工。微细脉冲电源采用两级放电回路并联,交替对间隙放电加工,可提高电火花加工效率。为了快速识别放电状态,检测电路使用间隙平均电压和短路脉冲检测两种方法,能够对放电状态快速响应,确保检测的准确性。电火花脉冲电源的控制核心利用了现场可编程门阵列(FPGA),其编程方式灵活,工作速度快,增加系统可靠性,并可利用IP核简化设计。该控制器具有在线参数设置,串口通信及放电状态检测等功能。本文研制的微细电火花脉冲电源的单脉冲能量低,放电加工稳定,适合要求表面质量好、加工精度高的微细电火花加工。利用微细脉冲电源在自制的多功能微细加工机床上进行了相关实验,利用块反拷加工微细电极,实验结果表明具有较高的加工精度,同时进行工艺试验,分析了电源相关参数对加工效率的影响。