【摘 要】
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纳米科技是二十世纪八十年代末、九十年代初逐渐发展起来的前沿性交叉学科，形成了纳米微电子学、纳米材料学、纳米机械学、纳米生物学、纳米物理学、纳米化学等多个新兴的领域。它们相互交融，交叉发展，必将引发下一次产业革命的浪潮，对新世纪的科学技术发展和社会进步起到重大的推动作用。 扫描探针显微术(SPM)是纳米科技发展的重要基础，已成为纳米科技工作者不可缺少的观察和研究工具。SPM家族成员众多，其中以
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纳米科技是二十世纪八十年代末、九十年代初逐渐发展起来的前沿性交叉学科，形成了纳米微电子学、纳米材料学、纳米机械学、纳米生物学、纳米物理学、纳米化学等多个新兴的领域。它们相互交融，交叉发展，必将引发下一次产业革命的浪潮，对新世纪的科学技术发展和社会进步起到重大的推动作用。 扫描探针显微术(SPM)是纳米科技发展的重要基础，已成为纳米科技工作者不可缺少的观察和研究工具。SPM家族成员众多，其中以AFM应用领域最为广泛，其主要应用领域涉及材料科学、微电子学、医学、光学、物理学、
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