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集成光学研究的是平面光学器件和平面光学系统的理论、技术与应用,其理论基础是导波光学,技术基础是薄膜技术和微电子技术。随着第二和第三代光纤陀螺的发展,大大地促进了多功能集成光路器件的发展和应用。由于LiNbO3材料具有良好的电光效应、较短的电光响应时间和高透射率特性,因而适宜制作低损耗导波器件的衬底材料,应用前景广阔。本文基于LiNbO3衬底材料,从参数理论设计和工艺设计方面介绍了一种用于干涉型光纤陀螺(IFOG)信号处理的新型多功能集成光路器件(MIOC)的研制工作。器件的工作波长为1.3μm,集分束器、合束器、起偏器/检偏器、相位调制器、波导吸收器等十三个功能单元于一体,除了单Y多功能集成光路器件具备的功能外,它还具有拍频检测功能,因而对提高惯导级和高精度稳瞄系统起着重要的作用,并直接影响着稳瞄系统的高机动性、抗冲击力和过载能力的提高。它的成功研制为多功能集成光路器件的深入研究,提出了一种新的思路。该器件是相位调制、强度调制和定向耦合器理论综合应用的典型,文章从理论上分析了LiNbO3光波导的特点、制作工艺、电极设计原理、SiO2介质缓冲层对器件性能的影响和抽头功率的设计原理等。为了实现低的半波电压、高的偏振消光比、低尾纤串音、低插入损耗、精确的抽头功率比和良好的分束比,我们对器件结构进行了优化设计。文章简要介绍了器件制作的具体过程,包括一些关键技术,如制作光波导的质子交换退火法(APE),电极的制作、缓冲层的制作、抑制背向反射的方法及光纤与芯片的耦合技术等。最后对器件样品的技术参数进行了测试,并对可靠性进行了分析,提出了今后的改进措施。最后在器件制作完成后,对性能参数进行了测试和分析。测试结果表明,器件的各项指标完全满足设计要求:插入损耗≤8.0dB,分束比优于50:50(±3%),尾纤偏振串音≤-30.0dB,三组相位调制器的半波电压Vπ≤4.5V、9.0V、12.0V,背向反射≤-50 dB,抽头功率比处于0.8%~1.2%之间。器件各项参数指标达到国外同类产品20世纪90年代初期的水平,属国内领先,该器件除了用于光纤陀螺外,还可用于其他信号处理系统。