等离子体增强磁控溅射电磁场的模拟

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随着汤森放电、辉光放电等理论的不断完善,低温等离子体技术不断应用于薄膜沉积、表面改性、微电子器件制备以及半导体刻蚀等领域。其中,以磁控溅射为代表的真空法已经成为制备薄膜的主流方法,磁场分布、等离子体密度分布及其温度等因素会直接影响到薄膜的质量。因此,选择合适的模型研究磁控溅射过程中气体放电的电离机制是非常有意义的。本文以圆柱形磁控溅射装置为研究模型,通过矩形截面通电圆线圈在圆柱体内部产生磁场,运用麦克斯韦方程对模型中的磁场建立数学模型,数值求解了所建立的模型得到了相应的磁场数值结果。以氩气为
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随着国民经济的发展及人民生活水品的提高,电力需求不断增长,而目前广州市黄埔区的电力网络已难以满足日益增长的供电需求。为保证未来国民经济的持续发展,配电的规划、建设与改造工作对电网公司而言十分关键和重要。由于电网建设涉及大量设备投运和更新,关系土地使用等其他问题,因此如何做好配电网规划,保证配电网安全、稳定、可靠、经济和可持续运行,充分高效率地利用资金和土地,是各级政府和电力主管部门必不可少的重要工
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