微细电化学加工是利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理将零件加工成形的一种非接触式加工技术。该技术具有无切削应力变形、无热影响区、无工具损耗和成本低等优点，目前已广泛应用于军事、航空航天、科研、医学和生产生活等领域。本文提出了电极振动式微细电解加工方法，构建了加工机床核心部件的三维模型，建立了电极轴支撑梁的动力学模型与微分方程，求解了支撑梁自由振动的固有频率和模态函数，分析了支撑梁固有频率随相关参数的变化规律。分析结果表明：固有频率随梁长度的增加而减小，随梁厚度的增加而线性增加。利用ABAQUS软件建立了加工机床核心部件模态仿真模型，对其自由振动进行了模态仿真。将有限元仿真结果与理论计算值进行了分析对比，证明了电极轴支撑梁理论模态分析的正确性。根据电容充放电原理，推导了压电陶瓷片两端电压的响应方程。利用模态叠加原理，给出了支撑梁在电压激励下的受迫振动的响应方程，研究了支撑梁的受迫振动的响应规律与共振响应规律。讨论了不同频率激励电压作用下支撑梁中点位移响应、速度响应和加速度响应的变化规律，分析了支撑梁受迫振动的响应随激励电压参数和压电片参数的变化规律。根据微细电解加工等效电路模型，分析了微细工具电极振动以及加工参数对电极间电位差的影响，给出了电解加工的可行域。根据电解成形原理，对微细电解加工过程进行有限元仿真。完成了微细电化学加工机床的结构设计和样机研制，进行了微细电化学静液加工试验和电极轴振动加工试验，并将两种结果进行对比，证明了电极轴振动电解加工方法的优越性。