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随着现代科技的迅猛发展,诸多行业对于硬质镀膜刀具的要求近乎苛刻。Ti-Si-N纳米复合膜和Ti(Si)N/Ti系纳米多层膜因其极高的硬度,优异的耐磨性能,良好的结合力以及出色的耐蚀性能和热稳定性能而得到诸多学者的关注和研究。本文采用直流反应磁控溅射法在316L不锈钢上制备了一系列Ti-Si-N纳米复合膜以及Ti-Si-N/Ti纳米多层膜。利用XRD、SEM、EDS和TEM等分析了薄膜的晶体结构、微观形貌、物相组成和组成成分;通过显微硬度仪、结合力划痕仪、摩擦磨损试验机和电化学工作站测试了薄膜的显微硬