【摘 要】
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子孔径拼接检测技术是拓展标准干涉仪的横向和纵向动态范围，实现低成本、高分辨率检测大口径光学元件的有效手段。其关键技术在于子孔径划分、子孔径波面数据的采集和子孔径拟
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子孔径拼接检测技术是拓展标准干涉仪的横向和纵向动态范围，实现低成本、高分辨率检测大口径光学元件的有效手段。其关键技术在于子孔径划分、子孔径波面数据的采集和子孔径拟合拼接的数据处理方法。首先介绍了拼接模式的选取和子孔径数目的确定等子孔径数据采集中关键问题的解决方法，给出了对现有检测平台进行改造的技术要求。其次对“两两拼接”和“均化误差”两种拼接算法进行了讨论，编写了数据拼接的算法程序。第三，对编写的算法程序进行了模拟拼接实验和实际拼接实验，测得该算法程序的精度为：理论拼接波面的综合误差小于10-6λ，实际拼接波面的综合误差小于PV／10（PV为被测波面相位峰谷值）；在此基础上，又就子孔径重叠区域大小和拼接模式对拼接精度的影响进行了实验和分析，实现了大口径光学平面的子孔径实时拼接检测。运用Pro／M软件对大口径光学平面的支撑问题进行了定量的分析，得出了最佳支撑方法。
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