随着工业化的发展,环境污染和能源危机日趋严重,人们对新能源的需求也越来越强烈。在众多可再生能源中,太阳能作为应用范围最广的绿色能源,成为最有发展前途的新型能源之一。钙钛矿太阳能电池作为众多太阳能电池中的一种,由于其简单的制备工艺、优良的性能得到了广泛的关注。自2009开始研究制备的电池3.8%效率以来,有机无机杂化钙钛矿太阳电池效率不断提高,目前报道的最高认证效率已达到23.7%以上。高性能的钙钛矿太阳能电池制备通常用反溶剂法制备,如氯苯制备,从其溶液中沉淀获得钙钛矿或其中间体。反溶剂氯苯在旋涂过程中会滴落到膜的中心引起钙钛矿不均匀成核,最终导致钙钛矿膜中的缺陷,影响电池的性能。该方法只有在较小的尺寸(0.04~0.2 cm~2)下才能实现均匀化、高效率。另外,使用的反溶剂对于环境有毒有害,阻碍其大规模应用。因此寻找一种能够代替反溶剂法实现高效、大面积的钙钛矿太阳能电池和使其可以大规模生产是具有重要意义。真空闪蒸法是通过物质的沸点随压力增大而升高、压力降低而减小,通过调节环境的压力改变物质的沸点,使其从液相快速汽化成固相,晶体析出的成膜方法。该方法绿色无污染,并且可以实现大面积、平整光滑的薄膜制备。因此本文尝试采用真空闪蒸法代替反溶剂法制备高性能钙钛矿太阳能电池,探究了真空闪蒸法工艺参数对钙钛矿薄膜质量、钙钛矿电池的性能影响。为了进一步提高真空闪蒸法制备出的器件性能,我们还采用电容耦合等离子体对钙钛矿太阳电池进行后处理,研究了低温等离子体处理对钙钛矿太阳能电池各项性能的影响。得到了相比于反溶剂制备的传统器件,等离子体辅助真空闪蒸法制备的器件在性能都有所提升,电池的开路电压、短路电流密度、填充因子和能量转换效率分别由1.01 V,20.85 mA/cm~2,58.85%,12.40%提高至1.02 V,22.82 mA/cm~2,63.53%,14.79%,即器件在处理之后效率提升了约16%。