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随着通信技术的快速增长,高频器件的发展十分迅猛。微纳米加工技术和压电薄膜技术的发展使高频器件的微型化成为可能。铌酸锂压电薄膜具有优异的声波特性,由铌酸锂压电薄膜与不同基底材料结合所形成的多层结构,已在制备高频宽带特性器件中广泛应用。本文以铌酸锂单晶薄膜多层结构的声波器件为研究对象,分析与研究了声表面波器件和体声波谐振器中的波传播特性。通过仿真分析了铌酸锂单晶薄膜多层结构的声表面波器件,通过对模态和频率响应分析得到这种新型结构的声表面波器件的谐振频率大约为320MHz,机电耦合系数为2.55%。作为声