长程表面等离子体共振传感器(LRSPR)中的衰逝波具有更强的电磁场强度,更长的传播距离,以及更深的穿透深度。因此,相对于传统的表面等离子体共振传感器(cSPR), LRSPR的灵敏度更高,检测区域更广。目前构建LRSPR传感器所用的电介质缓冲层材料种类较少,制备过程也非常繁琐,因此,开发快速、简单的新型制备方法制备电介质缓冲层材料对于LRSPR传感器的构建及应用尤为重要。本论文以1H,1H,2H-全氟-1-癸烯(PFOE)为聚合单体,首次采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在SF11玻璃基片上来沉积氟碳薄膜,将该薄膜作为电介质缓冲层来构建LRSPR传感器并研究其性能。通过控制反应条件,如放电模式、占空比、功率等能够获得不同折光指数的氟碳薄膜,沉积时间的控制可以制备出不同厚度的薄膜。利用原子力显微镜(AFM)来观察所沉积薄膜的表面形貌。利用表面等离子体共振光谱(SPR)以及光学波导谱(OWS)用来测定氟碳薄膜厚度及折光指数。优化LRSPR传感器的结构,对乙二醇(EG)本体溶液及溶菌酶(Lyz)蛋白质溶液进行LRSPR性能检测。实验结果表明,在射频等离子体反应器沉积条件为连续波放电模式,放电功率为60 W条件下轰击PFOE单体时,所制备的氟碳薄膜沉积速率非常稳定,薄膜厚度与沉积时间成正比关系,通过线性拟合计算得出该条件下薄膜沉积速率为65 nm/min。且该氟碳薄膜在空气中的折光指数约为1.3756,与水的折光指数1.333较为接近。通过SPR及OWS技术分析,该氟碳薄膜与金膜及玻璃基板均具有良好的粘附性,无需添加任何粘附层,且薄膜无需任何后处理,可直接应用。以该氟碳薄膜作为电介质缓冲层构建的具有最优层结构的LRSPR生物传感器灵敏度较高,相比cSPR传感器可以提高4.2倍。