【摘 要】
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由于恐怖活动日益猖獗,爆炸物检测技术受到了世界各地的广泛关注。声表面波(SAW)技术因具有灵敏度高、抗辐射能力强、波长短的独特优势成为了研究热点。本文以高频高敏度声表
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由于恐怖活动日益猖獗,爆炸物检测技术受到了世界各地的广泛关注。声表面波(SAW)技术因具有灵敏度高、抗辐射能力强、波长短的独特优势成为了研究热点。本文以高频高敏度声表面波TNT气体传感器为研究目标。首先,根据微扰理论对SAW爆炸物传感器的响应机制进行了研究,选定了初始膜厚h0=htrd/10的玻璃-橡胶态PDMS作为TNT传感器敏感膜;其次,利用有限元软件对200MHz延迟线型和谐振型传感器进行建模仿真,结果表明所得为瑞利波;最后,在500ppbTNT气体浓度下,计算了两种类型传感器插入损耗和灵敏度,得到了谐振型传感器的插入损耗更小(-24.5dB)、灵敏度更高(94.8Hz/ppb)的结论。
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