论文部分内容阅读
加速度计是惯性导航、制导和控制系统的重要测试元件,广泛应用于导弹制导、飞机导航、人造卫星的姿态控制、刹车系统控制、大型电器设备的振动测量以及石油地震勘探等领域。近年来,随着微机械加工技术和集成光学技术的发展,兼具微机械加速度计集成化、微型化与光学加速度计高精度、抗电磁干扰等显著优势的微光机电(MOEMS)加速度计得到了国内外广泛研究。与传统机械式、光纤加速度计性能参数的表征不同,MOEMS加速度计的性能表征涉及光学、电学与材料力学等各项性能参数,因此设计合理的MOEMS加速度计测试系统就显得尤为重要