有机硅高沸物是指甲基氯硅烷单体合成过程中产生的高沸点硅烷混合物，约占混合单体组成的5％左右。高沸物不能用简单的方法将其制成有用的有机聚硅氧烷。过去，有机硅高沸物不能很好的利用，长期贮存又有危险且对贮罐腐蚀严重，只能将其投入大海，以至造成公害。随着甲基氯硅烷单体生产规模的不断扩大，高沸物的利用问题已经成为制约有机硅工业发展的一个比较严重的问题，因此开发一种有效的利用高沸物的工业化方法已迫在眉睫。 本文从有机硅高沸物的裂解原理出发，闸述了国内外高沸物的利用情况，分别从氯化氢催化裂解和高压催化裂解两方面研究高沸物的裂解技术。实验结果表明，两种裂解方法的高沸物单程转化率均在80％以上，二甲基二氯硅烷的选择性分别为大于30％和50％。高压催化裂解技术完成20L反应器放大实验，技术水平好于小试结果。用氯化氢催化裂解法和高压催化裂解法这两种工艺路线裂解高沸物，不但解决了高沸物的利用问题，减少了环境污染，而且有较高的利润空间，具有很好的工业化前景。