二维位移台是制造业与检测业的重要部件,其运动精度决定着制造能力与检测能力。另一方面,二维位移台的制造技术并不能满足其市场需求,在使用中往往通过对其运动误差补偿来提升使用精度。针对ISO-230-1标准中描述的二维位移台的13项几何运动误差,设计了二维位移台测量系统。(1)以干涉仪作为位移量测量基准,根据自准直原理将小部分测量光用于角度测量,实现角度与位移同时测量。并利用五棱镜与反射镜作为主要部件设计三向分时分路测量,实现二维位移台的全部13项几何运动误差测量。(2)对位移量测量进行环境参数补偿与阿贝补偿,提高位移量测量精度。(3)利用MP451 USB卡、MP422E板卡与SH20403步进电机驱动器为主要模块设计了驱动控制与数据采集电路箱,以激光干涉仪测量数值作为采集系统的触发信号,在位移台连续运动下进行数据采集,大幅提高测量效率。(4)并在Visual Studio环境下,用C#语言编写了二维精密位移台自动测量程序,实现快速测量。(5)对系统的测量精度进行比对试验,在环境温度控制在20±0.5℃,湿度控制在50%~60%的环境下,实验验证该装置在60mm×60mm的测量范围内位移量测量精度优于0.7μm,角度测量精度优于0.4秒。并对现有二维位移台实际测量。