基于光反馈混合干涉的位移传感器的研究

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随着光反馈自混合干涉理论的不断成熟,光反馈自混合干涉效应的应用研究越来越引起人们的关注。基于光反馈自混合干涉效应的测量系统具有高精确度和非接触性等优点,故目前已被应用到多个测量领域,如:速度测量、位移测量、振动测量、距离测量、形貌测量等。   本文主要研究了一种基于光反馈自混合干涉效应的位移测量方法,搭建了实验系统,并对实验信号进行硬件处理,得出了位移量。目前基于光反馈自混合效应的位移测量主要有条纹计数法、相位测量法等,本文研究应用散斑测量理论的亮斑追踪位移测量法,它是一种对具有粗糙面的物体进行测量的有效方法。本文对现有散斑测量方法进行改进,增添了亮斑追踪、光反馈水平的自动增益控制两个环路,使检测更精确、有效。本文还设计了位移测量系统的硬件电路部分,包括信号的预处理、A/D转换、数字信号处理以及位移量恢复等硬件电路环节。其中A/D转换应用了转换芯片AD7262,数字信号的处理选用基于ARM920T的S3C2440芯片,成功实现了信号脉冲的计数统计,测得了位移量。
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