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类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜兼具优异的减摩和抗磨性能,在摩擦学领域获得广泛应用。为进一步提高薄膜的摩擦磨损性能,本文利用离子束沉积+磁控溅射复合技术制备了掺铬DLC膜,通过改变铬靶电流调节DLC膜的铬含量,探讨了铬含量对掺铬DLC膜结构、性能的影响,研究了铬含量及摩擦条件对掺铬DLC膜摩擦磨损性能的影响。结果表明:(1)利用离子束沉积+磁控溅射复合技术制备的DLC膜表面光滑致密,具有典型的类金刚石结构,膜/基结合强度高;随铬靶电流的增大,薄膜中的铬含量增加;随着铬含量的增加,薄膜sp~2-C含量有所增加,薄膜的硬度及弹性模量有小幅降低。(2)干摩擦条件下,纯DLC膜和少量掺铬的DLC膜的摩擦系数存在磨合期;载荷的增加能够起到缩短磨合期,降低摩擦系数的作用;随着载荷的增加,磨损量出现极小值。滑动速度对摩擦系数和磨损率的影响不如载荷明显。随着铬含量的增加,DLC膜的摩擦系数呈上升趋势;当铬含量为2.4%时DLC膜的磨损率达到最小值,随着铬含量的进一步增加,磨损率增大。(3)油润滑条件下,润滑油基础油及添加剂的种类、DLC膜中铬元素的含量对涂覆DLC膜试样的摩擦磨损性能均有影响:在PAO和150SN基础油中加入MoDTC能够起到较好的减摩作用,但作用时间与基础油的种类及DLC膜的成分有关,在150SN+MoDTC润滑条件下,铬含量为0.2%的DLC膜摩擦磨损性能最佳。对于纯DLC膜而言,150SN润滑条件下,ZDDP和T307能够起到较好的抗磨作用,且T307的减摩和抗磨性能优于ZDDP,但对掺铬DLC膜而言,其对摩擦系数和磨损率的影响与铬含量和基础油种类有关;与纯DLC膜比,铬元素的存在对添加剂T307与DLC膜的复配效果起消极作用。