随着制造技术的发展,高效微传热、制氢、微模具等领域针对深窄槽、深长槽、大规模阵列和弯曲微槽等复杂微结构提出了日益增长的需求。本文提出了带状电极微细电火花加工技术,利用往复运动的箔带材料作为工具电极,实现高深宽比微结构、大规模阵列和弯曲微槽等复杂微结构的高效加工制造。带状电极微细电火花加工技术可以提高微通道结构加工效率、降低加工成本,对拓展微通道结构应用范围,促进微纳制造技术发展具有重要意义。论文首先从理论方面对带状电极微细电火花加工方法开展了研究,分析了带状电极放电加工的原理和截面形状对放电加工、排屑等加工过程的影响。通过数学建模的方式,建立了带状电极横向振动和纵向偏移的数学模型,获得了带状电极运动状态对加工微槽结构成形的影响关系;论文通过带状电极横向振动和纵向偏移模型,分析了影响带电极加工的加工电压、脉冲宽度、占空比等电参数和电极张力、电极运动速度、工件厚度等非电参数。进行了带状电极微细电火花加工的基础工艺实验,针对上述参数对加工精度、加工效率、加工质量和电极损耗等加工性能的影响规律进行了分析,获得了带状电极基础加工工艺规律,对优化微槽结构加工工艺进行了优化和完善;接着论文根据获得的基础加工工艺规律对加工条件的要求,对带状电极的微细电火花加工实验平台进行设计和搭建,设计和研究内容包括带状电极材料的选择和电极尺寸的设计、带电极往复运动机构的设计、张力调节模块的设计、工作液循环系统、脉冲放电加工系统、以及伺服进给系统等。最后,通过搭建的带状电极微细电火花加工平台,针对深窄槽、深长槽、大规模阵列和弯曲微槽等复杂微结构的高效、高质量加工制造工艺进行了实验研究,完善了加工工艺条件和工艺流程。在一定加工条件下与微细电火花线切割进行了加工性能的对比,对带状电极微细电火花加工方法的加工性能进行了总结分析。