多晶硅是晶体硅型太阳能电池主要原料，其中的杂质对太阳能电池的电阻率、电池效率、以及光照后的稳定性等均具有重要影响，因此定量测定光伏硅中杂质含量是非常必要的。基于光伏硅中杂质元素的含量特点及现有测试技术的不足，设计与研制了一种经济型光伏硅杂质元素分析仪。论文的主要研究内容及成果如下：　　 在能量色散X射线荧光光谱分析仪器的基础上，对仪器的工作原理及技术路线进行了设计，对仪器的关键部件进行了选择与研制，组装了一台具有可操作性和实用性的光伏硅杂质元素分析仪。　　 对仪器的准确度、精密度、能量线形等进行了测试与验证，发现该仪器的相对误差均小于1％，相对标准偏差均小于1％，能量线性偏差远小于1％。表明所采用的设计思路、技术方案以及所选用的部件和材料合理、有效。　　 利用该仪器对光伏硅和铜精矿中的微量杂质含量进行了测试，并与电感耦合等离子质谱仪的测定值进行对比，发现二者测试结果基本一致。进一步验证了光伏硅杂质元素分析仪器测定光伏硅中微量杂质含量的可行性。