射频磁控溅射方法制备CaCu<,3>Ti<,4>O<,12>薄膜及其介电性质研究

被引量 : 0次 | 上传用户：realno158

【摘要】

：

介电材料在半导体器件中有两个最重要的应用。一是作为场效应晶体管器件的栅介质层;二是作为动态随机存储器(DRAM)电容的介质材料。CaCu_3Ti_4O_(12)(CCTO)材料自其介电性质被发现以来,由于其介电常数非常高,对温度变化不敏感的特点,受到人们的广泛关注,无论是靶材还是薄膜材料都具有超高的介电常数,且在较大的温度变化范围内介电常数都保持稳定。目前的研究工作主要集中在CCTO高介电常数的成

【作者】

：

于浩

【机构】

：

东北师范大学

【发表日期】

：

2010年05期

【关键词】

：

CaCu3Ti4O12 高介电常数磁控溅射极化介电性质

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

几组让我印象深刻的学生作品

本期专题上，有几组作品让我印象深刻。　　《肖像》是天津美术学院的宋立雪的作品，这一系列作品是作者以拍摄肖像的手法拍摄的临时建筑，这是城市背景中的荒凉一角。从画面的角度来看，可以推测作者跟建筑保持一定的距离，这是人的距离，还是时间的距离？作者说过，“这些建筑，在很短的时间出现，又在很短的时间消失，伴随着主人身份的变化，这些建筑的命运也在变化。”这组照片乍看之下构图极简单──一所零落的小店，一半的天色

期刊

学生作品系列作品天津美术学院今村昌平楢山节考宋立城市背景北京电影学院西安理工大学极简单

PbZr<,0.4>Ti<,0.6>O<,3>铁电电容器的集成研究

采用溶胶-凝胶法制备PbZr0.4Ti0.6O3(PZT)铁电薄膜,磁控溅射法生长FePt、Pt等电极材料,架构了不同衬底和不同电极的PZT电容器。采用磁控溅射法生长阻挡层材料,制备FePt/PZT铁电铁磁异质结薄膜。利用X射线衍射仪对样品进行结构测试,利用铁电测试仪(Precision LC Unit)测试样品的铁电性能,LCR测试仪测试介电常数,Keithley数字源表测试漏电流,振动样品磁强

学位

铁电性Pb(Zr0.4Ti0.6)O3集成异质结FePt

真实与选秀纪实与娱乐——一次民生新闻栏目对选秀节目的探索实践

《帮女郎帮你忙》是安徽广播电视台经济生活频道的民生新闻品牌栏目,自2008年10月18日创办开播以来,一直在同时段保持省市网收视率、收视份额第一。2013年元旦起节目扩版,每

期刊

帮女郎帮你忙选秀节目出镜记者经济生活频道收视份额电视新闻记者体验者电视界地面频道栏目组

应变对稀土掺杂石墨烯微结构和能带结构影响的第一原理研究

Graphene是目前发现的最理想的稳定的二维体系,其独特的结构使graphene有很多不同于其他碳基材料的性质。Graphene材料在纳米微电子器件、光电子器件、自旋量子器件以及新型

学位

弘扬铁人精神

今年10月8日,是中国工人阶级的先锋战士铁人王进喜80周年诞辰。大庆油田已经走过的44年历程证明,铁人精神是宝贵的财富,特别是在大庆的二次创业进入全面发展的关键时期,铁人

期刊

铁人精神铁人王进喜艰苦奋斗精神铁人式中国石油为国分忧爱国主义精神中国工人阶级不计名利求实精神

拓扑量子计算及相关问题

拓扑量子计算被认为是实现可容错量子计算机的最为激动人心的方案之一。尽管这个领域已经蓬勃发展十多年了，但是它目前仍然是现代物理最为前沿的领域。这个方案的核心思想依赖

学位

非阿贝尔任意子拓扑量子计算辫子量子相变

溶胶-凝胶法制备红色长余辉MgSiO3:Mn2+,Eu2+,Dy3+的研究

本文选取了硅酸盐作为长余辉发光粉体的基质,以Mn2+作为激活剂,以Eu2+和Dy3+作为辅助激活剂,研究其发光性能。　　采用溶胶-凝胶法合成了基质MgSiO3以及Mg2SiO4。讨论了制

学位

LD端面抽运双棒串接Tm:LuAG激光器研究

学位

有限温下重夸克偶素的质量谱

人们普遍接受的强相互作用的基本理论-量子色动力学的一个重要预言是在高温或(和)高密度等极端条件下强子系统将以它们的基本自由度-夸克和胶子的形式出现,这就是所谓的夸克

学位

高瓦斯矿井当存当留

“我们采取了当前几乎所有能够防止瓦斯突出的技术,但悲剧还是发生了” 10月16日,河南平煤集团平禹四矿发生瓦斯突出事故,井下当时共有276人作业,事发后239人撤至地面,37名矿

期刊

高瓦斯矿井瓦斯突出井下避难所救生舱郑煤集团瓦斯爆炸刘文彬透水事故平能矿山事故

射频磁控溅射方法制备CaCu<,3>Ti<,4>O<,12>薄膜及其介电性质研究

与本文相关的学术论文