超薄金属薄带厚度测量系统的研究

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受中国物理研究院的委托,我们设计研究了一种白光差分干涉测量装置来测量超薄金属薄带的厚度。该项目在完成理论可行性论证后,要进行硬件的设计、制造和调试,另外,要进行数据处理算法的研究和软件的编写。本文的主要研究工作有理论可行性研究和数据处理算法的研究及算法可行性的论证。 以光的干涉理论为基础,对白光差分干涉测量装置的理论可行性进行了分析论证,并根据计算提出了在误差许可的范围内,在设计测量装置时应满足的要求,可以据此选择材料及指导安装。 根据白光差分干涉
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