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碳基纳米表面中含有纳米级石墨烯晶体结构的薄膜具备了良好的机械、磁学、电学等集成性能,在固体润滑、微纳传感、摩擦发电等领域展示出广阔的应用前景。原子力显微镜(AFM)探针可在纳米尺度对表面形貌、粗糙度、电势、力学等特征和性能进行分析测量;基于原子力探针的增强拉曼光谱(TERS)能够在纳米尺度探究碳纳米表面形变过程中的结构演化机理。因此,本研究提出以原子力探针为核心手段,为探明石墨烯纳晶的形成和演变规律提供直接实验证据,为进一步明确石墨烯纳晶碳膜性能的调控方向提供重要参考。本研究首先利用电子回旋共振等离