随着纳米摩擦学和MEMS以及航天航空工业研究的深入进行，超固体润滑的研究近年来得到了广泛的重视。所谓超固体润滑技术指的是在干接触条件下，使摩擦系数达到10^-2甚至10^-3数量级的特殊的超低摩擦系数的固体润滑技术。MoS2作为一种优良的固体润滑材料，在超固体润滑领域具有很高的应用价值，特别是在减小微机械、电子系统以及航天航空工业中的摩擦磨损，提高其性能和寿命方面，基于MoS₂的超固体润滑技术具有很强的应用空间。本文使用ECR射频磁控溅射的方法制备了MoS₂／Ni复合固体润滑薄膜，并对其制备工艺进行了初步研究，以及对这种复合固体润滑薄膜的摩擦学特性进行初步探索。目的是为了使Ni／MoS₂复合固体润滑薄膜得到更低的摩擦系数，使其到达超固体润滑的要求，以及提高其综合的摩擦性能。制备MoS₂复合固体润滑薄膜的工艺参数为：功率160w，靶基距60mm，Ar₂压强0.5Pa。同时还对膜层进行了EDS和XRD分析，分析结果确定了其主要成分为MoS₂，以及其主要晶面为（0002）晶面。并在球盘摩擦实验机上，在变载荷，变转速，变湿度的条件下，对MoS₂／Ni复合膜进行了摩擦磨损实验，实验结果表明MoS₂／Ni复合膜能大大降低不锈钢等基底表面的摩擦系数，并且在高速重载的环境下（载荷大于3N，转速大于300r／min）有更低的摩擦系数和更高的摩擦稳定性。对复合膜通过热处理后，将薄膜使用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的表面特性进行了分析，观察到热处理后薄膜的结晶度大大提高，而且复合膜的摩擦性能也有一定的提高。对复合膜通过添加中间层技术后，对于软基体上的薄膜的摩擦系数有了较大的提高，使其性能更为优越。