非接触式在线光密度仪

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光密度仪广泛应用于薄膜镀膜等生产过程检测场合中,为了保证薄膜的镀膜质量,必须对镀膜的效果进行实时的监测。然而目前的光密度仪大部分都采用了接触式非在线的测量方式,严重的影响了薄膜镀膜生产的速度和质量。针对目前传统接触式光密度仪存在的各种问题,本文提出了一种新型的非接触式在线光密度仪系统。本文结合该系统的硬件构成、技术特点,首先讨论了在线光密度仪系统中各组成部分的选型依据,并设计出了各部分的硬件电路图,然后重点研究了微弱电压信号下电压值的提取问题,最终讨论并设计了基于Silicon Labs公司的C8051f系列单片机C8051f020和ALTER公司的EP2C5T144FPGA作为控制器的非接触式在线光密度仪系统。同时在本文中还介绍了系统中部分软件的实现的过程。最终本文设计出一套完整的非接触式在线光密度仪系统,同时并通过一定的算法对测量结果进行了拟合,使其最终满足了在工业生产过程中薄膜镀膜实时测量中精度的需求,达到了预期的效果。
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