AlCr靶高电流脉冲电弧放电及AlCrN薄膜沉积

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薄膜技术广泛应用在传统制造业,可以有效提高材料表面的硬度、摩擦性能、耐腐蚀性等。真空阴极电弧沉积具有离化率高和沉积速率大的特点,但在膜层表面不可避免的存在大颗粒。阴极脉冲弧源可以显著降低大颗粒数量并提高离化程度,直流组合脉冲弧可保持电弧稳定。本文通过真空阴极脉冲弧离子镀技术增强真空室内气体离化,增大基体电流,以制备高性能AlCrN薄膜。AlCr靶放电特性实验结果表明,脉冲电源获得基体电流要远高于直流电源。随着脉冲峰值电流的提高,基体偏流增加;当偏压增加时,基体偏流稍稍增加;基体偏流随气压的增加而减少
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