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先进功能薄膜材料涵盖了电、磁、光、热等物理化学性质,一直以来都是各国学术界、工业界及高新技术产业界关注的焦点,且相关研究已经渗透到了材料科学、信息科学、生命科学等众多领域。新型功能薄膜材料的广泛研究,将导致材料技术的革新,并有望在高密度信息存储、高精度智能传感、可穿戴电子器件等新兴领域获得应用。精确调控功能薄膜材料的结构,定制薄膜的物理性能进而灵活有效地运用功能薄膜是实现许多功能器件的关键挑战。功能薄膜器件性能的可控调节已经成为新型电子器件功能集成化的重要突破口。针对以上问题,本论文重点围绕固态、柔