功能薄膜是当今材料研究中的一个重要分支，有着广泛的应用前景和旺盛的生命力。 扫描探针显微镜ScanningProbeMicroscopy(SPM)，可以实时观测原子、分子尺度上的微观结构，并成为功能薄膜研究中的重要工具之一。无论是在功能薄膜结构表征，还是加工方面，SPM都是有力的工具。 本论文的主要研究内容分为两部分： 第一：通过SPM直接观测沉积在基片表面的花生酸(即二十烷酸)LB(Langmuir-Blodgett)薄膜在不同扫描尺度下的微观结构。本文研究在经过表面两亲性(亲水性或疏水性)处理的基片上，在相同制膜条件下，拉膜沉积方式的改变，对花生酸LB膜样品的表面结构、薄膜均匀性和缺陷等的影响。结果显示，在不同拉膜沉积方式下，花生酸LB膜表面将形成不同的分子自组装形态；改变基片表面的亲水性强弱也直接影响LB膜的表面形貌和均匀性，由此可以通过选择恰当表面处理和沉积方式来获得平整度更高，缺陷更少的LB膜。 第二：本文利用SPM详细研究了旋涂法制备有序排列乳胶微球(包括PMMA和Si02微球)薄膜，并结合反射光谱详细分析和讨论了乳胶颗粒转移过程中自组装为有序结构的物理机制。编写了粒度分析程序对相关AFM图像进行处理，统计出颗粒粒径分布。在确保粒度样品粒径分布的前提下，为下一步制备大面积乳胶微球有序排列薄膜，提供了实验基础。