PZT压电薄膜柔性化异质集成制造及其电学性能研究

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【摘要】

：

PbZr0.53Ti0.47O3(PZT)陶瓷作为一种功能性的铁电材料,在微机械系统、能量采集、智能传感器、铁电存储器等领域得到了广泛的应用。然而,随着智能终端设备的不断普及,传统的压电陶瓷器件已不能满足当今可穿戴器件微型化、柔性化、便携式的发展需求。因此,如何用一种简单高效、成本低廉的方法实现PZT薄膜的柔性制备是柔性可穿戴器件应用里一个急需解决的关键问题。论文创新性地利用可控剥离技术(CST)

【作者】

：

张晶

【机构】

：

中北大学

【发表日期】

：

2019年09期

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PbZr_(0.53)Ti_(0.47)O_3(PZT)陶瓷作为一种功能性的铁电材料,在微机械系统、能量采集、智能传感器、铁电存储器等领域得到了广泛的应用。然而,随着智能终端设备的不断普及,传统的压电陶瓷器件已不能满足当今可穿戴器件微型化、柔性化、便携式的发展需求。因此,如何用一种简单高效、成本低廉的方法实现PZT薄膜的柔性制备是柔性可穿戴器件应用里一个急需解决的关键问题。论文创新性地利用可控剥离技术(CST)实现了刚性基底上PZT薄膜的可靠剥离,制备出柔性PZT压电薄膜。首先采用Sol-Gel技术

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