本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试。该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频率。 论文的第一章对微电子机械系统及其器件设计、制造技术和应用等发展状况进行了综述，重点综述了微机械加速度传感器的研究进展。 第二章详细论述了一种新型的微梁直拉直压硅微机械压阻式加速度传感器的工作原理。传感器芯片由中间支撑梁、质量块、两只质量腿和两只微梁组成。由于质量块和质量腿结构的特殊设计，工作时微梁直拉或者直压。力学分析表明由于三梁结构和微梁的直拉直压工作方式，该设计能同时提高传感器的灵敏度和谐振频率。有限元模拟验证了力学分析。 第三章论述结构的优化设计，给出了传感器的结构尺寸优化和基于优化结果的不同量程传感器的设计规则。采用这个规则，可以设计量程为1-25000g的加速度传感器，并根据该设计规则形成了简便实用的设计程序。 第四章介绍器件工艺制作。由于采用SOI硅片和深反应离子刻蚀技术，传感器的制作工艺比较简单可行。此外还给出了传感器的简单封装工艺。 本论文的第五章给出了制作的量程为2.5g的传感器的测试结果。传感器静态灵敏度为104.4mV／5V／g，谐振频率为1115Hz，均跟设计值非常吻合。